硅片清洗机 硅片清洗机 苏州

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1、4、抛光后自动清洗：除去切、磨、抛的沾污。

2、 7、离子注入后的清洗：除去光刻胶，SiO2层。

3、 10、附件及工具的清洗：除去表面所有的沾污物。

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