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1、MEMS，什么是MEMS？

2、MEMS(微机电系统)是指集成了微型传感器、执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源的微机电系统。

3、MEMS技术的目标是通过系统的小型化和集成化来探索具有新原理和功能的元件和系统。MEMS技术是一个典型的交叉学科前沿研究领域，几乎涉及自然科学和工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。

4、微机电系统(MEMS)是一个全新的研究和发展领域，必须同时考虑各种物理场的混合效应。与传统机器相比，它们的体积更小，最大的不超过一厘米，甚至只有几微米，厚度更小。硅基材料具有优异的电学性能。硅材料的强度、硬度、杨氏模量与铁相当，密度与铝相近，热导率与钼、钨接近。利用类似集成电路(IC)的代技术，可以大批量、低成本地使用IC生产中成熟的技术和工艺，相比传统的“机械式”制造技术，大大提高了性价比。

5、完整的MEMS是由微传感器、微致动器、信号处理与控制电路、通信接口和电源组成的集成微器件系统。其目标是将信息的获取、处理和执行集成在一起，形成一个多功能的微型系统，可以集成到一个大系统中，从而大大提高系统的自动化、智能化和可靠性。

6、伴随着系统和产品小型化、智能化、集成化的发展方向，可以预见，MEMS将给人类社会带来又一次技术革命，它将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生产质量产生深远的影响。它是关系到国家科技发展、国防安全和经济繁荣的关键技术。

7、制造商正在不断改进手持设备，以提供尺寸更小、功能更多的产品。但吊诡的是，随着技术的提高，价格往往会飙升，所以这就导致了一个问题：厂商不得不面对——的矛盾要求，在使产品在功能上更优越的同时降低产品成本。

8、解决这个问题的方法之一是采用MEMS，更通俗的说法是MEMS，它使制造商能够将产品的所有功能集成到单个芯片中。MEMS对消费电子产品的最终影响不仅包括降低成本，还包括在不牺牲性能的情况下减小尺寸和重量。事实上，与已经出现的类似技术相比，大多数消费电子产品中使用的MEMS元件的性能已经有了很大的提高。虽然MEMS过去仅限于汽车、工业和医疗应用，但据调查公司估计，“2005年前MEMS消费电子产品的销售额将达到15亿美元”。

9、手持设备制造商正逐渐意识到MEMS的价值以及这项技术带来的好处。——大体积，低成本，小尺寸，他们开始转向成功的MEMS公司。这些公司实现的成本降低将影响整个消费电子世界，而不仅仅是高端设备。

10、MEMS特性

11、小型化：MEMS器件体积小、重量轻、能耗低、惯性小、谐振频率高、响应时间短；

12、集成：可以将多个具有不同功能、不同敏感方向和致动方向的传感器或致动器集成为一个整体，形成微传感器阵列或微致动器阵列，甚至可以将多个器件集成在一起，形成更复杂的微系统。将微传感器、微致动器和集成电路集成在一起，可以制造出具有高可靠性和稳定性的智能微机电系统。

13、多学科交叉：MEMS制造涉及电子、机械、材料、信息与自动控制、物理、化学、生物等多个学科。同时，MEMS也为这些学科的进一步研究和发展提供了有力的工具。

14、微机电系统的广泛应用

15、跟上发展的步伐

16、越来越受欢迎的MEMS应用是计步器，用于测量行走的速度或距离。MEMS器件的功能是将Z轴方向上的机械平移运动转换成电脉冲。这些脉冲被送入峰值检测电路，然后在每个脉冲的作用下触发计数。一个设计良好的峰值检测算法可以根据选择的加速度计获得最佳的测量效果。

17、如果计步器安装在被测者的脚上，计步器在人跑步时会定期受到很大的冲击。如果产品使用加速度计，那么这么高的冲击指数会大大限制产品的性能。例如，当过载超过一定程度时，一些加速度计设计会出现一种称为“粘连”的现象。当加速度计受到很大的冲击时，会出现饱和，甚至在大过载消除后，仍会保持饱和输出。要摆脱这种状态，可能需要反转电源的极性。MEMSIC的加速度计是基于热敏感原理来检测加速度的，所以在大负载下不存在其他加速度计的问题，比如卡顿，因为它们根本没有敏感质量。

18、让GPS更可靠

19、无论是在偏远的道路上观光，还是仅仅用于汽车导航，手持全球定位系统(GPS)都是一种安全、方便、理想的便携式设备。

20、由GPS接收器支持的人和车辆的定位系统可以确定位置并在路线上提供指导。当采用GPS系统时，信号接收并不总是100%可靠，但如果有基于MEMS技术的加速度计，信号的损失可以通过可以计算行驶(行走)距离的导航解算方法来补偿。此外，加速度计在校正这些系统中使用的三轴电子罗盘的磁偏角方面也非常有用。加速度计可以跟踪偏离重力方向零参考的角位移信息，在获得这些信息后，可以修正赤纬，这样即使设备不处于水平状态，也仍然可以得到准确的方向读数。

21、手持GPS

22、　　为游戏应用提供更佳的控制能力

23、　　在改善电子游戏的体验方面，MEMS加速度计还能提供运动和倾斜检测。这些游戏可以在多种平台上运行——包括Microsoft Xbox、Sony的Playstation、Nintendo GameCube等游戏机和Nintendo GameBoy、Palm或Pocket PC PDA等手持式装置，以及其它膝上型和桌上型电脑，改善控制盘和操纵杆的倾斜及运动敏感功能。

24、　　该功能让用户沉浸在游戏之中，体验其中的乐趣。特别是玩飞行模拟类游戏时，用户需要让游戏控制盘或者操纵杆倾斜来使飞机转弯——无论是操控螺旋桨式飞机还是喷气式战斗机，大多数用户在完成大斜度转弯时都会出现整个身体都倾斜的现象，这让他们产生更为身临其境的感觉。

25、　　像Nintendo公司的Gameboy等手持式装置，都提供了一种靠倾斜、摇摆来控制的游戏Kirby倾斜和翻转”。在游戏中，球形主人公Kirby要根据不断滚摆的浮空平台倾斜情况来滚转，摇动Gameboy可以帮助Kirby跳到下一个浮空平台。在采用MotionSense公司软、硬件的掌上型或便携式PC PDA装置中，也可以添加与此类似的迷宫游戏。

26、　　体育比赛类游戏也可以利用MEMS加速度计带来的好处。装备了MEMS加速度计及陀螺的棒球棍或者高尔夫球棍可以提供全部旋转信息，用来精确的复现出击球的动作。

27、　　随着MEMS价值得到证明，越来越多的消费类电子产品制造商采用这项技术。蜂窝式器件的制造商也已经象游戏业一样意识到了它的重要性，特别是开发无线产品的厂商。随着手持式市场继续获得爆炸性增长，低成本将成为其成功的推动因素，而该增长可以通过MEMS技术的利用来获得。

本文讲解到此结束，希望对大家有所帮助。